|
| 首頁 > 關(guān)于明美 > 新聞中心 > 8寸晶圓顯微鏡檢測系統(tǒng)在京誕生 |
8寸晶圓顯微鏡檢測系統(tǒng)在京誕生
日前，8寸晶圓顯微鏡檢測系統(tǒng)經(jīng)6個月的研發(fā)，在北京自動化技術(shù)研究院大興工業(yè)基地誕生，這是繼大氣型硅片專用機(jī)械手和wafer loader后的又一款新型機(jī)械手。這項(xiàng)技術(shù)完全由自動化院自主研發(fā)、自行生產(chǎn)。整個系統(tǒng)由傳輸裝置、宏觀檢查裝置和顯微放大裝置組成，內(nèi)部系統(tǒng)則是由第三代控制軟件來實(shí)現(xiàn)。
8寸晶圓顯微鏡檢測系統(tǒng)通過機(jī)械手將晶圓從片盒取出放在真空吸附托盤上，通過鼠標(biāo)或操作按鍵改變晶圓的轉(zhuǎn)向以初步檢查。顯微鏡平臺可進(jìn)行精密檢測，能夠觀察晶圓微觀的顆粒，劃傷，污染等情況。這種機(jī)械手采用了直線型真空吸附結(jié)構(gòu)，靈活可靠，顯微鏡平臺能夠提供40-1000倍的觀察效果。它還可以提供多種靈活多變的晶圓檢測模式，包含以下檢測內(nèi)容：晶圓ID、晶圓notch的方向、晶圓旋轉(zhuǎn)角度及速度、晶圓微觀的晶格等，并能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)監(jiān)控。
在整個研發(fā)過程中，機(jī)械設(shè)計(jì)、軟件設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)和氣路設(shè)計(jì)都作了進(jìn)一步的改進(jìn)和優(yōu)化。其中在軟件部分，實(shí)現(xiàn)了模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化的應(yīng)用，在設(shè)備斷電或操作不當(dāng)?shù)仍虺霈F(xiàn)設(shè)備故障時，調(diào)試人員也可以在最短時間內(nèi)將它恢復(fù)。在第3代軟件版本中，改善了人機(jī)交互界面，使得操作者可以在友好的界面中易于操作，交互便捷，同時也保證了設(shè)備運(yùn)行的安全和穩(wěn)定。在電子電路設(shè)計(jì)方面主要控制了電機(jī)和傳感器反饋給板卡的信號，使得信息既可以接受也可以反饋，形成閉環(huán)。其中在機(jī)械手的危險位置設(shè)置傳感器，是為了避免它發(fā)生碰撞和危險動作。
添加日期：2009-11-21
|
 |
|
客服中心
